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UVU-W型 ウェブ用超音波ドライクリーナー
UVU-F型 写真

ミクロの限界を超えた除塵能力

UVU-Wニューウルトラクリーナは、断面が、Ultrasonic Pressure / Vacuum /Ultrasonic Pressureと並べられた構造を採用(特許取得)したことにより、従来の非接触式ドライクリーナの限界を越えた高性能ドライクリーナとなりました。ドライ洗浄方式のクリーナとしては世界最高の性能を誇っています。


特長・効果
  1. ドライクリーナで1.6μmの粉塵を100%除去可能です。
  2. 新開発のクリーナヘッドは、Ultrasonic Pressure / Vacuum / Ultrasonic Pressure と配置された構造により1度捕らえた粉塵を逃しません。
  3. 超音波エアーの衝突による乱流が境界層の破壊、粉塵の剥離を助長します。
  4. 2方向の風向きを持つため、様々な付着状態の粉塵に大きな効果を発揮します。
  5. ドライ洗浄方式のため、液交換作業や乾燥工程も不要で、設備やランニングコストが安くなります。
  6. 超音波がノズル有効長に均一に出力されるため、除塵能力が均一です。
  7. 超音波発生装置は永久的に性能劣化がありません。
  8. 非接触式のため基材の表面への損傷はありません。
除塵テスト及びその結果
社内クリーンルーム(クラス100)内でのテスト結果です。
1.6μmの微粒子を100%除去しています。(吐出空気圧力(P圧)12kpa)
テスト条件
●粉塵:1.6μmスペーサビーズ(ドライ散布)
●吐出空気圧力:12kpa
●基材とのギャップ:約1.5mm
●搬送速度:100mm/sec.
●評価方法:表面検査装置(GI-4830)
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