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| 特長・効果 |
- ドライクリーナで1.6μmの粉塵を100％除去可能です。
- 新開発のクリーナヘッドは、Ultrasonic Pressure / Vacuum / Ultrasonic Pressure と配置された構造により1度捕らえた粉塵を逃しません。
- 超音波エアーの衝突による乱流が境界層の破壊、粉塵の剥離を助長します。
- 2方向の風向きを持つため、様々な付着状態の粉塵に大きな効果を発揮します。
- ドライ洗浄方式のため、液交換作業や乾燥工程も不要で、設備やランニングコストが安くなります。
- 超音波がノズル有効長に均一に出力されるため、除塵能力が均一です。
- 超音波発生装置は永久的に性能劣化がありません。
- 非接触式のため基材の表面への損傷はありません。
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| 除塵テスト及びその結果 |
社内クリーンルーム（クラス100）内でのテスト結果です。
1.6μmの微粒子を100％除去しています。（吐出空気圧力（P圧）12kpa） |
テスト条件
●粉塵：1.6μmスペーサビーズ（ドライ散布）
●吐出空気圧力：12kpa
●基材とのギャップ：約1.5mm
●搬送速度：100mm／sec.
●評価方法：表面検査装置（GI-4830） |
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