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| 特長・効果 |
- ドライクリーナで3μmの粉塵を100％除去可能です。
- 新開発高効率ヘッドを採用し、従来よりも更に小風量のブロワーを採用できるようになりました。（当社比）
- 中央で超音波エアーナイフを垂直に吹きつけ、両サイドでバランス良くバキュームする構造は、エアー漏れを低減させ、より効率のよいクリーニングを行います。
- ブロワースペースもコンパクトであり、安価となります。（当社比）
- ドライ洗浄方式のため、液交換作業や乾燥工程も不要で、設備やランニングコストが安くなります。
- 超音波がノズル有効長に均一に出力されるため、除塵能力が均一です。
- 超音波発生装置は永久的に性能劣化がありません。
- 非接触式のため基材の表面への損傷はありません。
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| 除塵テスト及びその結果 |
社内クリーンルーム（クラス100）内でのテスト結果です。
3μmの微粒子を100％除去しています。（吐出空気圧力（P圧）12kpa） |
テスト条件
●基材：PETフィルム
●粉塵：環境粉塵3μm
●吐出空気圧力：12kpa
●基材とのギャップ：約2mm
●搬送速度：200mm／sec.
●評価方法：光学顕微鏡写真 |
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