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VUV-W型 ウェブ用超音波ドライクリーナー
VUV-W型 写真

ミクロの限界を超えた除塵能力

VUV-Wクリーナは、断面が、 Vacuum / Ultrasonic Pressure / Vacuum と並べられた構造を採用(特許取得)し、中央の吐出部の両側に吸引ノズルをバランスよく配置することで、エアー漏れを軽減するとともに、ブロワー容量を小さくすることで、イニシャル、ランニングの両方をコストを大きく低減することが可能となりました。


特長・効果
  1. ドライクリーナで3μmの粉塵を100%除去可能です。
  2. 新開発高効率ヘッドを採用し、従来よりも更に小風量のブロワーを採用できるようになりました。(当社比)
  3. 中央で超音波エアーナイフを垂直に吹きつけ、両サイドでバランス良くバキュームする構造は、エアー漏れを低減させ、より効率のよいクリーニングを行います。
  4. ブロワースペースもコンパクトであり、安価となります。(当社比)
  5. ドライ洗浄方式のため、液交換作業や乾燥工程も不要で、設備やランニングコストが安くなります。
  6. 超音波がノズル有効長に均一に出力されるため、除塵能力が均一です。
  7. 超音波発生装置は永久的に性能劣化がありません。
  8. 非接触式のため基材の表面への損傷はありません。
除塵テスト及びその結果
社内クリーンルーム(クラス100)内でのテスト結果です。
3μmの微粒子を100%除去しています。(吐出空気圧力(P圧)12kpa)
テスト条件
●基材:PETフィルム
●粉塵:環境粉塵3μm
●吐出空気圧力:12kpa
●基材とのギャップ:約2mm
●搬送速度:200mm/sec.
●評価方法:光学顕微鏡写真
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