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クリーニングシステム

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VUV-F型 フラットパネル用超音波ドライクリーナー
VUV-F型 写真

両面同時クリーニング可能
ブロワーは、小型・省スペースで安価

VUV-Fパネルクリーナは、断面がVacuum/Ultrasonic Pressur/Vacuumと並べられた構造を採用しています。弊社の特許であるUV式に更にVacuumを加えたことにより、更に性能はアップしました。


特長・効果
  1. ドライクリーナで3μmの粉塵を100%除去可能です。
  2. エアーバランスがよいのでヘッドを対向させて両面同時クリーニングが可能です。
  3. 非接触式のための基材の表面への損傷はありません。
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除塵テスト及びその結果

社内クリーンルーム(クラス100)内でのテスト結果です。
3μmの微粒子を100%除去しています。
(吐出空気圧力14kpa)


テスト条件

●基材: 液晶用ガラス基板(250mm×250mmx1.1t)
●粉塵: 3μmスペーサビーズ(ドライ散布)
●搬送速度: 50mm/sec.
●評価方法: 表面検査装置(GI-4600)

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