1. 従来比10倍の高圧超音波エアーを使用することで、より微細で固着質のダストやガラスカレットに対して有効で、3ミクロン以上の粉塵の除去エッジ部の除塵などに最適です。
2. クリーナヘッドのサイズがW84xD80xH55とコンパクト設計です。(有効長:10mm)

社内クリーンルーム（クラス100）内でのテスト結果です。

テスト条件

●基材： 液晶用ガラス基板
●粉塵： 3μmスペーサビーズ（ドライ散布）
●吐出空気圧力： 0.1Mpa
●基材とのギャップ： 約1.5mm
●評価方法： 表面検査装置（GI-4600）