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クリーニングシステム

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VUV-FI&FII型 超音波両面ドライクリーナー
VUV-FI&FII型 写真

世界初!
0.2mmの薄板ガラス、樹脂基板の両面クリーニングに成功!!
吸着テーブル不要の両面同時クリーニングシステム

本社クリーンルームにて立会いテストを実施しています。
テストサンプルをご持参の上、その効果をご確認ください。


F1型(厚物基板対応)   F2S型(超小型基板対応)
F2型(薄物基板対応)   F3S型(超小型&極薄基板対応)
F3型(極薄基板対応)

特長
  1. 両面同時にクリーニングを行えるシステムです。後工程の装置汚染を防ぎます。
  2. 3ミクロンのシリカビーズは100%除去いたします。(弊社クリーンルーム内テスト評価)
  3. クリーナヘッドへの基板の吸い付きを防止するための吸着テーブルが不要です。装置全体でのコストダウンを実現します。
  4. コンベアにてガラスをスルーさせるだけなので、大幅なタクトタイム向上が可能です。
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