世界初！
0.2mmの薄板ガラス、樹脂基板の両面クリーニングに成功！！
吸着テーブル不要の両面同時クリーニングシステム

本社クリーンルームにて立会いテストを実施しています。
テストサンプルをご持参の上、その効果をご確認ください。

Ｆ１型（厚物基板対応）　 　Ｆ２Ｓ型（超小型基板対応）
Ｆ２型（薄物基板対応）　 　Ｆ３Ｓ型（超小型＆極薄基板対応）
Ｆ３型（極薄基板対応）