社内クリーンルーム（クラス100）内でのテスト結果です。

テスト条件

●基材： 液晶用ガラス基板
●粉塵： 3μmスペーサビーズ（ドライ散布）
●吐出空気圧力： 0.25Mpa
●基材とのギャップ： 13.5mm
●評価方法： 表面検査装置（GI-4600）