省力化のコンサルタント 株式会社伸興

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クリーニングシステム

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PEN-G&S型 超音波スポットクリーナー
PEN-G&S型 写真

3ミクロン以上の粉塵の除去
局所等の使用自由自在

 除塵テスト及びその結果

 3ミクロンビーズ全面散布


除塵原理図

除塵テスト及びその結果

社内クリーンルーム(クラス100)内でのテスト結果です。


テスト条件

●基材: 液晶用ガラス基板
●粉塵: 3μmスペーサビーズ(ドライ散布)
●吐出空気圧力: 0.25Mpa
●基材とのギャップ: 13.5mm
●評価方法: 表面検査装置(GI-4600)



除塵テスト及びその結果図
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