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| 特長・効果 |
- ドライクリーナで1.6μmの粉塵を100％除去可能です。
- ドライ洗浄方式の為、水・薬液の交換がなくランニングコストがかかりません。
- 非接触式のため、ガラス基盤等の表面にスクラッチ、及び成膜への損傷を与えません。
- クローズドループシステム採用で、クリーンルーム内の層流を乱すことなく使用できます。
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| 除塵テスト及びその結果 |
社内クリーンルーム（クラス100）内でのテスト結果です。
1.6μmの微粒子を100％除去しています。（吐出空気圧力（P圧）14kpa） |
テスト条件
●基材：液晶用ガラス基板（320mm×400mm）
●粉塵：
①1.6μmスペーサビーズ（ドライ散布）
②ガラス片異物
●吐出空気圧力：14kpa
●基材とのギャップ：約1.5mm
●搬送速度：100mm／sec.
●評価方法：光学顕微鏡写真 |
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