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UVU-F型 フラットパネル用超音波ドライクリーナー
UVU-F型 写真

ミクロの限界を超えた除塵能力

UVU-Fパネルクリーナは、断面が、Ultrasonic Pressure / Vacuum /Ultrasonic Pressureと並べられた構造を採用(特許取得)したことにより、従来の非接触式パネルクリーナの限界を越えた高性能パネルクリーナとなりました。


特長・効果
  1. ドライクリーナで1.6μmの粉塵を100%除去可能です。
  2. ドライ洗浄方式の為、水・薬液の交換がなくランニングコストがかかりません。
  3. 非接触式のため、ガラス基盤等の表面にスクラッチ、及び成膜への損傷を与えません。
  4. クローズドループシステム採用で、クリーンルーム内の層流を乱すことなく使用できます。
除塵テスト及びその結果
社内クリーンルーム(クラス100)内でのテスト結果です。
1.6μmの微粒子を100%除去しています。(吐出空気圧力(P圧)14kpa)
テスト条件
●基材:液晶用ガラス基板(320mm×400mm)
●粉塵:
①1.6μmスペーサビーズ(ドライ散布)
②ガラス片異物
●吐出空気圧力:14kpa
●基材とのギャップ:約1.5mm
●搬送速度:100mm/sec.
●評価方法:光学顕微鏡写真
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