製品紹介
product
超音波高圧ドライクリーナー VUV-HG / HGv
- 高圧
- 超音波
- 非接触
- # ウェブ｜フィルム・紙・金属箔
- # フラット基材
- # スポット
- # 半導体
- # 電池
- # 固着
- # 自動車
- コンプレッサーエアーを利用した
超高圧 非接触超音波クリーナー - 頑固な固着粉塵を除去
Roll to Roll工程用
（フィルムなど）
※ロール形状に合わせ
カスタマイズ製作
フラット基板用
01構成図
02テスト結果
- 基材
- ガラス基板
- 粉塵
- 5μm
スペーサ
ビーズ - ライン速度
- 100mm/sec
- 吐出空気圧力
- 1.0 MPa
- 基材とのギャップ
- 1.5mm
固着粉塵テスト
テスト前に、ドライヤー（120℃）で基材裏面より
３分間加熱し
粉塵を固着させる。
クリーニング前 （粉塵固着後）
クリーニング後
伸興クリーンルームでのテスト結果であり、
粉塵の種類・テスト条件などにより除去率が変わる可能性があります。
03用途（例）
フィルム
ガラス
二次電池
LCD/OLED
半導体
