製品紹介
product
超音波スポットクリーナー PEN-G / PEN-S
- 高圧
- 超音波
- 非接触
- # スポット
- # 半導体
- 超音波エアー使った
ハンディタイプクリーナー - 局所洗浄に最適
PEN-G：ハンディ（ガン）タイプ
PEN-S：固定タイプ
01構成図
02テスト結果
- 基材
- ガラス基板
- 粉塵
- ３μm
スペーサー
ビーズ
- 吐出空気圧力
- 0.25 MPa
- 基材とのギャップ
- 13.5mm
ガラス表面検査装置（GI-4600) の測定データ
クリーニング前
クリーニング後
伸興クリーンルームでのテスト結果であり、
粉塵の種類・テスト条件などにより除去率が変わる可能性があります。
03用途（例）
半導体
