製品紹介
product
両面同時 超音波ドライクリーナー
VUV-F2 /
VUV-F3
- 超音波
- 非接触
- # フラット基材
- # LCD・OLED
- 世界初
0.2mm薄型ガラス基板の
両面同時クリーニングに成功 - 3.0μm以上の粉塵 100％ 除去可
VUV-F2 薄型対応 （0.4t以上）
VUV-F3 極薄型対応 （0.4t 未満)
01構成図
02用途（例）
ガラス
LCD/OLED
