製品紹介
product
超音波スポットクリーナー PEN-G / PEN-S
- 高圧
- 超音波
- 非接触
- # スポット
- # 半導体
- 超音波エアー使った
ハンディタイプクリーナー - 局所洗浄に最適
![PEN-G:ハンディ(ガン)タイプ PEN-S:固定タイプ](/wp/wp-content/themes/shinkyo/images/product/pen-g_s/img_01.jpg)
PEN-G:ハンディ(ガン)タイプ
PEN-S:固定タイプ
01構成図
![構成図](/wp/wp-content/themes/shinkyo/images/product/pen-g_s/composition.jpg)
02テスト結果
- 基材
- ガラス基板
- 粉塵
- 3μm
スペーサー
ビーズ
- 吐出空気圧力
- 0.25 MPa
- 基材とのギャップ
- 13.5mm
ガラス表面検査装置(GI-4600) の測定データ
![クリーニング前](/wp/wp-content/themes/shinkyo/images/product/pen-g_s/result_img01.jpg)
クリーニング前
![クリーニング後](/wp/wp-content/themes/shinkyo/images/product/pen-g_s/result_img02.jpg)
クリーニング後
伸興クリーンルームでのテスト結果であり、
粉塵の種類・テスト条件などにより除去率が変わる可能性があります。
03用途(例)
![半導体](/wp/wp-content/themes/shinkyo/images/product/purpose_05.jpg)
半導体