產品介紹
product
雙面同時清潔 超音波除塵設備
VUV-F2 /
VUV-F3
- 超音波
- 非接觸
- # 平面基材
- # LCD・OLED
- 全球首創
可雙面同時清潔0.2mm薄型玻璃基板 - 可100％去除3.0µm以上粉塵
VUV-F2支持薄型 (0.4t以上)
VUV-F3支持超薄型 (0.4t未滿)
01結構圖
02應用(範例)
玻璃
LCD/OLED