제품 소개
product
초음파 스팟 클리너 PEN-G / PEN-S
- 고압
- 초음파
- 비접촉식
- # 스팟
- # 반도체
- 초음파 에어를 사용한 핸디 타입 클리너
- 국소 세정에 최적
PEN-G: 핸디(건) 타입
PEN-S: 고정 타입
01구성도
02테스트 결과
- 기재
- 유리 기판
- 분진
- 3μm 스페이서 비즈
- 토출 공기 압력
- 0.25 MPa
- 기재와의 갭
- 13.5mm
유리 표면 검사 장치(GI-4600)의 측정 데이터
클리닝 전
클리닝 후
SHINKO 크린룸에서 진행한 테스트 결과로,분진의 종류, 테스트 조건 등에 따라 제거율이 다를 수 있습니다.
03용도 (예)
반도체