產品介紹
product
超音波局部除塵設備 PEN-G / PEN-S
- 高壓
- 超音波
- 非接觸
- # 局部
- # 半導體
- 採用空氣超音波的
手持式除塵設備 - 最適合局部除塵
PEN-G:手持(噴槍)式
PEN-S:固定式
01結構圖
02測試結果
- 基材
- 玻璃基板
- 粉塵
- 3µm
樹脂微粒
- 吹氣壓力
- 0.25 MPa
- 與基材的間隙
- 13.5mm
玻璃表面檢查裝置（GI-4600）的測量數據
除塵前
除塵後
此為在伸興無塵室進行的測試結果，去除率可能會因粉塵種類、測試條件等而變化。
03應用(範例)
半導體