产品介绍
product
超声波SPOT清洗机 PEN-G / PEN-S
- 高压
- 超声波
- 非接触
- # SPOT
- # 半导体
- 利用超声波空气的
手持式清洗机 - 最适合局部清洗
PEN-G:手持(喷枪)式
PEN-S:固定式
01构成图
02測試結果
- 基材
- 玻璃基板
- 粉尘
- 3µm
间隔珠
- 排出空气压力
- 0.25 MPa
- 与基材的间隔
- 13.5mm
玻璃表面检测装置（GI-4600）的测量数据
除尘前
除尘後
这是在伸兴洁净室内的测试结果，根据粉尘的种类、测试条件等，去除率可能会发生变化。
03应用(示例)
半导体